Технопарк был построен при Московском физико-техническом институте — одном из сильнейших технических вузов России и мира. Право на получение финансирования в рамках программы технопарк получил на конкурсе 2013 года. Совокупный объем субсидий, предоставленных на создание технопарка из федерального бюджета в 2013–2014 годах, составил 415,8 млн рублей. Общая площадь «Физтехпарка» составила 30 709,9 квадратных метров. Потенциальные якорные резиденты, рассматривающие технопарк для размещения: компания «Параллелс», производитель программного обеспечения по виртуализации, компания «Акронис», производитель программного обеспечения по защите данных, компания «Неткрэкер», производитель программного обеспечения для операторов связи. Согласно конкурсной заявке, «Физтехпарк» должен достичь следующих целевых значений показателей эффективности к 2018 году: 25 компаний-резидентов, 1300 созданных рабочих мест, 1 млрд рублей выручки резидентов, не менее 12% доли экспорта продукции в общей выручке.
«По итогам 2014 года технопарки, созданные в рамках программы, показали выдающиеся результаты. На территории двенадцати технопарков в десяти регионах России работают почти 800 компаний, организовано 19 тысяч высокопроизводительных рабочих мест. Рост выручки по отношению к 2013 году составил почти 30%: резиденты выручили более 40 млрд рублей, — сказал глава Минкомсвязи России Николай Никифоров. — При этом 40% основного объема площадей технопарков мы ввели в эксплуатацию только в декабре 2014 года. Это значит, что в 2015–2016 годах мы получим еще более заметный рост и по количеству рабочих мест и по числу компаний-резидентов».
Николай Никифоров отметил, что технопарки стали хорошей инфраструктурой инвестицией государства: «За все время действия программы из федерального бюджета на создание технопарков было направлено 13 млрд рублей, еще 18 млрд рублей вложили регионы России, в то же время объем выручки резидентов составил уже 130 млрд рублей».
Вместе с главой Правительства РФ Дмитрием Медведевым, мэром Москвы Сергеем Собяниным и министром образования и науки Дмитрием Ливановым руководитель Минкомсвязи России осмотрел здание технопарка и пообщался с его будущими резидентами.
Программа поддержки строительства технопарков действовала в 2007–2014 годах. Было создано 12 технопарков в десяти регионах России. Республика Татарстан: «ИТ-парк» и технополис «Химград» в Казани, «ИТ-парк» в Набережных Челнах. Новосибирская область — «Академпарк». Тюменская область — «Западно-Сибирский Инновационный Центр». Кемеровская область — «Кузбасский технопарк». Республика Мордовия — «Технопарк-Мордовия». Пензенская область — технопарк «Рамеев». Нижегородская область — «ИТ-парк “Анкудиновка”». Самарская область — технопарк «Жигулевская долина». Свердловская область — технопарк «Университетский». Москва — «Физтехпарк».